고속 정밀 이송 가능 LMS (Linear Motion System)

1. LMS 소개

  - Carrier Motion은 코일을 순차적으로 활성화 시킴으로써 이루어진다.

  - ?Carrier Position는 홀센서를 통해서 측정한다.
  - 가동자(Linear Coil)가 고정되어 케이블 작업이 단순하다. (Cableveyor 불필요, 진공 Chamber 적용 시 Chamber 내 케이블이 없어짐)
  - Linear Encoder를 사용하지 않으므로 원가 절감.
  - 물류 구성의 용이 : 개별 이송부 간 연결 및 물류 설계 용이.

2. Linear Coil 과 자석 사이 간격(Air Gap)

3. LMS 구성

4. Encoder Resolution

5. LMS 영상보기

     물류라인 테스트 영상 

    동기제어 테스트 영상

6. Linear Coil 제품 형식

7. Linear Coil 사양

8. Linear Coil 치수

9. Magnet Track 치수